工作频率：DC～20KHz/50KHz/3MHz/10MHz

测量范围：10mm（峰峰值，最小位移可测0.2nm）

速度：40m/s（max）

输出信号：±12V，BNC输出(加速度/速度/位移)

分辨率：40pm（位移），4nm/s/Hz（速度）

精度：1%

工作距离：0.1～1.2m/5m/10m/20m/30m

尺寸：50x70x105mm（激光头）

工作温度：-20～+80℃（激光头，特殊要求可定制）

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